Farfugliare del magnetron di ZEIT è un genere di applicazione a spruzzo fisica (PVD). Fa il movimento degli elettroni in percorsi a spirale vicino alla superficie dell'obiettivo dall'interazione fra i campi elettrici magnetici e, così aumentando la probabilità degli elettroni che colpiscono il gas dell'argon per generare gli ioni. Gli ioni generati poi colpiscono la superficie dell'obiettivo nell'ambito dell'azione del campo elettrico e farfugliano i materiali di obiettivo al film sottile del deposite sulla superficie del substrato. Il metodo generale farfugliare può essere usato per la preparazione di vari metalli, semiconduttori, materiali ferromagnetici come pure gli ossidi isolati, ceramica ed altre sostanze. L'attrezzatura usa il sistema di controllo del pannello di tocco di PLC+ HMI, che può entrare i parametri dall'interfaccia di processo programmabile, con le funzioni quale il singolo obiettivo che farfuglia, farfugliare dell'multi-obiettivo e co-farfugliare sequenziali.

Come tecnologia del rivestimento del non termale nel campo della microelettronica, il magnetron che farfuglia il deposito è ampiamente usato in semiconduttore, nelle esposizioni, nella registrazione magnetica, nella registrazione ottica, nella batteria di sottili pellicole della perovskite, nel trattamento medico, nel rivestimento decorativo, nel rivestimento di Anti-scoloramento, in film ottici, in film a tenuta di luce, in film resistente, in film, in a strato magnetico superconduttori, ecc. ha personalizzato la produzione disponibile.


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