Magnetron che farfuglia deposito nel campo del rivestimento di Anti-scoloramento
Applicazioni
| Applicazioni | Scopo specifico | Tipo materiale |
| rivestimento di Anti-scoloramento | Rivestimento di antiossidazione del metallo prezioso | Al2O3, TiO2 |
Principio di funzionamento
Gli elettroni si scontrano continuamente con gli atomi dell'argon nel processo di moto, ionizzante tantissimi ioni dell'argon a
bombardi l'obiettivo. Dopo i tamponamenti a catena, l'energia degli elettroni diminuisce gradualmente. Gli elettroni scappano via
dalla restrizione della linea di forza magnetica, stia alla larga dall'obiettivo ed infine il deposito sul substrato.
Caratteristiche
| Modello | MSC-ADC-X-X |
| Tipo ricoprente | Vari film dielettrici come l'ossido di metallo e a film metallico ed AIN |
| Gamma di temperature ricoprente | Temperatura normale a 500℃ |
| Dimensione ricoprente della camera di vuoto | 700mm*750mm*700mm (personalizzabile) |
| Vuoto del fondo | < 5="">-7mbar |
| Spessore di rivestimento | ≥ 10nm |
| Precisione di controllo di spessore | ≤ ±3% |
| Dimensione ricoprente massima | ≥ 100mm (personalizzabile) |
| Uniformità di spessore di film | ≤ ±0.5% |
| Trasportatore del substrato | Con il meccanismo planetario di rotazione |
| Materiale di obiettivo | pollici 4×4 (compatibili con 4 pollici e sotto) |
| Alimentazione elettrica | Le alimentazioni elettriche quale CC, impulso, rf, SE e la polarizzazione è facoltativa |
| Gas trattato | L'AR, N2, O2 |
| Nota: Produzione su misura disponibile. | |
Campione ricoprente
Punti trattati
Il → dispone il substrato per ricoprire nella camera di vuoto;
Il → vacuumize approssimativamente;
Il → gira sulla pompa molecolare, vacuumize a massima velocità, quindi gira sulla rivoluzione e sulla rotazione;
→ che riscalda la camera di vuoto finché la temperatura non raggiunga l'obiettivo;
Il → implementa il controllo della temperatura costante;
Il → pulisce gli elementi;
Il → gira e di nuovo all'origine;
Film ricoprente del → secondo i requisiti trattati;
Il → insufficiente la temperatura e ferma l'assemblea della pompa dopo avere ricoperto;
Il → smette di lavorare quando l'operazione automatica è finita.
I nostri vantaggi
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