Magnetron Sputtering Deposition nell'industria delle cure mediche
Applicazioni
| Applicazioni | Scopo specifico | tipo di materiale |
| Trattamento medico | Materiali biocompatibili | Al2O3, TiO2 |
Principio di funzionamento
Il principio di base dello sputtering del magnetron è che gli elettroni si scontrano con gli atomi di argon nel processo di volo verso
ilsubstrato sotto l'azione del campo elettrico, gli ioni di argon prodotti bombardano la superficie bersaglio.Dopo l'energia
scambio,gli atomi sulla superficie bersaglio fuoriescono dal reticolo originalee vengono trasferiti al substrato
superficie per formare pellicole.
Caratteristiche
| Modello | MSC-MT-X—X |
| Tipo di rivestimento | Vari film dielettrici come film metallico, ossido di metallo e AIN |
| Intervallo di temperatura del rivestimento | Temperatura normale fino a 500 ℃ |
| Rivestimento sottovuotocamera size | 700mm * 750mm * 700mm (personalizzabile) |
| Vuoto di fondo | <5×10-7mbar |
| Spessore del rivestimento | ≥ 10 nm |
| Precisione nel controllo dello spessore | ≤±3% |
| Dimensione massima del rivestimento | ≥ 100 mm (personalizzabile) |
| Uniformità dello spessore del film | ≤ ±0,5% |
| Supporto del substrato | Con meccanismo di rotazione planetaria |
| Materiale bersaglio | 4 × 4 pollici (compatibile con 4 pollici e inferiore) |
| Alimentazione elettrica | Gli alimentatori come DC, impulsi, RF, IF e polarizzazione sono opzionali |
| Gas di processo | Ar, n2, o2 |
| Nota: produzione personalizzata disponibile. | |
Campione di rivestimento
Fasi del processo
→ Posizionare il substrato per il rivestimento nella camera a vuoto;
→ Aspirare grossolanamente;
→ Accendere la pompa molecolare, aspirare alla massima velocità, quindi attivare la rotazione e la rotazione;
→ Riscaldare la camera a vuoto finché la temperatura non raggiunge il target;
→ Implementare il controllo costante della temperatura;
→ Elementi puliti;
→ Rivoluzione e ritorno all'origine;
→ Film di rivestimento secondo i requisiti del processo;
→ Abbassare la temperatura e arrestare il gruppo pompa dopo il rivestimento;
→ Smettere di funzionare quando l'operazione automatica è terminata;
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