Deposizione di strati atomici nel campo della membrana di separazione
Applicazioni
| Applicazioni | Scopo specifico |
| Membrana di separazione |
Filtrazione |
| Separazione dei gas |
Principio di funzionamento
La deposizione di strati atomici (ALD) presenta i seguenti vantaggi dovuti al chemisorbimento della saturazione superficiale e
meccanismo di reazione autolimitante:
1. Controllare accuratamente lo spessore del film controllando i numeri di ciclo;
2. A causa del meccanismo di saturazione della superficie, non è necessario controllare l'uniformità del flusso dei precursori;
3. Possono essere generati film ad alta uniformità;
4. Eccellente copertura del passaggio con proporzioni elevate.
Caratteristiche
| Modello | ALD-SM-X—X |
| Sistema di film di rivestimento | AL2O3,TiO2,ZnO, ecc |
| Intervallo di temperatura del rivestimento | Temperatura normale fino a 500 ℃ (personalizzabile) |
| Dimensione della camera sottovuoto di rivestimento |
Diametro interno: 1200 mm, Altezza: 500 mm (personalizzabile) |
| Struttura della camera a vuoto | Secondo i requisiti del cliente |
| Vuoto di fondo | <5×10-7mbar |
| Spessore del rivestimento | ≥0,15 nm |
| Precisione nel controllo dello spessore | ±0,1 nm |
| Dimensione del rivestimento | 200×200mm² / 400×400mm² / 1200×1200 mm², ecc |
| Uniformità dello spessore del film | ≤±0,5% |
| Gas precursore e vettore |
Trimetilalluminio, tetracloruro di titanio, zinco dietile, acqua pura, azoto, ecc. |
| Nota: produzione personalizzata disponibile. | |
Campioni di rivestimento
Fasi del processo
→ Posizionare il substrato per il rivestimento nella camera a vuoto;
→ Aspirare la camera a vuoto ad alta e bassa temperatura e ruotare il substrato in modo sincrono;
→ Inizio rivestimento: il substrato viene messo a contatto con il precursore in sequenza e senza reazione simultanea;
→ Eliminarlo con azoto gassoso ad alta purezza dopo ogni reazione;
→ Interrompere la rotazione del substrato dopo che lo spessore del film è conforme allo standard e l'operazione di spurgo e raffreddamento è terminata
completato, quindi estrarre il supporto dopo che sono state soddisfatte le condizioni di rottura del vuoto.
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