Deposizione di strati atomici nell'industria delle nanostrutture e dei modelli
Applicazioni
| Applicazioni | Scopo specifico |
| Nanostruttura e pattern |
Nanostruttura assistita da template |
| Nanostruttura assistita da catalizzatore | |
| ALD regioselettivo per la preparazione di nanopattern |
Principio di funzionamento
La deposizione di uno strato atomico è un metodo per formare un film facendo pulsare alternativamente i precursori della fase gassosa
nella camera di reazione e producendo la reazione di chemisorbimento gas-fase solida sul substrato depositato
superficie.Quando i precursoriraggiungono la superficie del substrato depositato, verranno adsorbiti chimicamente
superficie e produrre le reazioni superficiali.
Caratteristiche
| Modello | ALD-NP-X—X |
| Sistema di film di rivestimento | AL2O3,TiO2,ZnO, ecc |
| Intervallo di temperatura del rivestimento | Temperatura normale fino a 500 ℃ (personalizzabile) |
| Dimensione della camera sottovuoto di rivestimento |
Diametro interno: 1200 mm, Altezza: 500 mm (personalizzabile) |
| Struttura della camera a vuoto | Secondo i requisiti del cliente |
| Vuoto di fondo | <5×10-7mbar |
| Spessore del rivestimento | ≥0,15 nm |
| Precisione nel controllo dello spessore | ±0,1 nm |
| Dimensione del rivestimento | 200×200mm² / 400×400mm² / 1200×1200 mm², ecc |
| Uniformità dello spessore del film | ≤±0,5% |
| Gas precursore e vettore |
Trimetilalluminio, tetracloruro di titanio, zinco dietile, acqua pura, |
| Nota: produzione personalizzata disponibile. | |
Campioni di rivestimento
Fasi del processo
→ Posizionare il substrato per il rivestimento nella camera a vuoto;
→ Aspirare la camera a vuoto ad alta e bassa temperatura e ruotare il substrato in modo sincrono;
→ Inizio rivestimento: il substrato viene messo a contatto con il precursore in sequenza e senza reazione simultanea;
→ Eliminarlo con azoto gassoso ad alta purezza dopo ogni reazione;
→ Interrompere la rotazione del substrato dopo che lo spessore del film è conforme allo standard e l'operazione di spurgo e raffreddamento è terminata
completato, quindi rimuovere il supporto dopo che sono state soddisfatte le condizioni di rottura del vuoto.
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