Rivelatore di vetro di difetto superficiale del substrato
Applicazioni
Per il controllo dei processi e rendere la gestione di fabbricazione di vetro del substrato, possiamo aiutare i produttori a
identifichi e controlli i difetti della maschera, riduca il rischio di rendimento e migliorare la loro abilità indipendente di R & S per
tecnologie di base.
Principio di funzionamento
Facendo uso della luce specifica dell'anello di angolo, meccanismo coassiale correre e di sorgente luminosa per raccogliere ed analizzare il direzionale
informazioni di fotografia, così realizzando rilevazione di automatica per i difetti sulla superficie di vetro del substrato.
Caratteristiche
Modello | SDD-GS-X-X | |
Rilevazione di prestazione |
Tipo rilevabile di difetto | I graffi, spolvera |
Dimensione rilevabile di difetto | 1μm | |
Accuratezza di rilevazione (misurata) |
rilevazione 100% dei difetti/raccolta di difetti (graffi, polvere) |
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Efficienza di rilevazione |
resoconto ≤10 (Valore misurato: maschera di 300mm x di 350mm) |
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Prestazione di sistema ottico |
Risoluzione | 1.8μm |
Ingrandimento | 40x | |
Campo visivo | 0.5mm x 0.5mm | |
Illuminazione leggera blu | 460nm, 2.5w | |
Prestazione della piattaforma di moto
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X, moto di due-asse di Y Planarità di marmo del controsoffitto: 2.5μm Precisione di distanza massima di Z-direzione dell'asse y: ≤ 10.5μm Precisione di distanza massima di Z-direzione dell'asse y: ≤8.5μm |
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Nota: Produzione su misura disponibile. |
Immagini di rilevazione
I nostri vantaggi
Siamo produttore.
Processo maturo.
Risposta entro 24 ore lavorative.
La nostra certificazione di iso
Parti dei nostri brevetti
Parti dei nostri premi e qualificazioni di R & S