Rivelatore di difetto di superficie del materiale a semiconduttore
Applicazioni
Per il controllo dei processi e rendere gestione della maschera in bianco nei campi dell'esposizione a semiconduttore e
fabbricazione del chip del circuito integrato, usiamo le tecnologie difficili ottiche di alta capacità di lavorazione per rendere veloce e
rilevazione automatica accurata per i difetti superficiali della maschera in bianco. Secondo le necessità dell'utente professionali,
abbiamo sviluppato la serie di alta capacità di lavorazione MASCHERIAMO le macchine di ispezione con qualità affidabile ed alto costo
rapporto di prestazione, aiutare i produttori di vetro del substrato, della maschera e del pannello ad identificare e controllare la maschera
i difetti, riducono il rischio di rendimento e migliorare la loro abilità indipendente di R & S per le tecnologie di base.
Principio di funzionamento
Per quanto riguarda il livello ed il tipo di difetto superficiale, di lente telecentric 4x, di luce specifica dell'anello di angolo e di luce coassiale
la fonte è selezionata come l'approccio visivo. Quando il dispositivo sta correndo, il campione si muove lungo la X
la direzione ed il modulo della visione effettua la rilevazione di difetto lungo la direzione di Y.
Caratteristiche
| Modello | SDD0.5-0.5 | |
|
Rilevazione di prestazione |
Tipo rilevabile di difetto | I graffi, spolvera |
| Dimensione rilevabile di difetto | 1μm | |
|
Accuratezza di rilevazione (misurato) |
rilevazione 100% dei difetti/raccolta di difetti (graffi, polvere) |
|
| Efficienza di rilevazione |
resoconto ≤10 (Valore misurato: maschera di 300mm x di 350mm) |
|
|
Prestazione di sistema ottico |
Risoluzione | 1.8μm |
| Ingrandimento | 40x | |
| Campo visivo | 0.5mm x 0.5mm | |
| Illuminazione leggera blu | 460nm, 2.5w | |
|
Prestazione della piattaforma di moto
|
X, moto di due-asse di Y Planarità di marmo del controsoffitto: 2.5μm Precisione di distanza massima di Z-direzione dell'asse y: ≤ 10.5μm Precisione di distanza massima di Z-direzione dell'asse y: ≤8.5μm
|
|
| Nota: Produzione su misura disponibile. | ||
Immagini di rilevazione
I nostri vantaggi
Siamo produttore.
Processo maturo.
Risposta entro 24 ore lavorative.
La nostra certificazione di iso
Parti dei nostri brevetti
Parti dei nostri premi e qualificazioni di R & S
I nostri prodotti sono venduti in tutto il mondo. Puoi stare certo dell'intero processo dei nostri prodotti.
