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ZEIT Prototipo PECVD ad alte prestazioni consegnato con successo

September 6, 2022

Il centro di tecnologia del rivestimento di ZEIT ha intrapreso il progetto di sviluppo trattato di Suzhou PECVD. Dopo il mese mezzo dello sviluppo trattato e della realizzazione tecnica, ZEIT ha realizzato il processo di PECVD di SiNx ed i film SiO2, hanno raggiunto gli indici dell'uniformità della superficie e di ogni uniformità di strato.

 

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Con questo progetto, ZEIT ha formato le proprie caratteristiche in tecnologie di base dell'attrezzatura di PECVD, quale la rf che corrisponde, pressione rapida e stabile della reazione, distribuzione uniforme del flusso d'aria ed inoltre ha soluzioni proposte per inquinamento della polvere, la superficie modellata del film, la camera autopulente, ecc. in seguito a quello, ZEIT ha accumulato molta esperienza nell'ottimizzazione dell'attrezzatura di PECVD e nell'adeguamento tecnologico, che ha gettato la base solida per sostituzione delle importazioni, l'industrializzazione e le relazioni di cliente continue.