Magnetron di PVD che farfuglia deposito
Applicazioni
| Applicazioni | Scopo specifico | Tipo materiale |
| Semiconduttore | IC, elettrodo di LSI, fissante film | AI, Al-si, Al-Si-Cu, Cu, Au, pinta, palladio, AG |
| Elettrodo di memoria di VLSI | Mo, W, Ti | |
| Film della barriera di diffusione | MoSix, Wsix, TaSix, TiSx, W, Mo, W-Ti | |
| Film adesivo | PZT (Pb-ZrO2-Ti), Ti, W | |
| Esposizione | Film conduttivo trasparente | ITO (In2O; - SnO2) |
| Film dei collegamenti dell'elettrodo | Mo, W, Cr, tum, Ti, Al, AlTi, AITa | |
| Film elettroluminescente |
ZnS-mn, ZnS-TB, CAS-Eu, Y2O3, tum2O5, BaTiO3 |
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| Registrazione magnetica | Film di registrazione magnetica verticale | CoCr |
| Film per il disco rigido | CoCrTa, CoCrPt, CoCrTaPt | |
| Testa magnetica del film sottile | CoTaZr, CoCrZr | |
| Film di cristallo artificiale | Copto, CoPd | |
| Registrazione ottica | Film di registrazione del disco del cambiamento di fase | TeSe, SbSe, TeGeSb, ecc |
| Film di registrazione del disco magnetico |
TbFeCo, DyFeCo, TbGdFeCo, TbDyFeCo |
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| Film riflettente del disco ottico | AI, AITi, AlCr, Au, lega dell'Au | |
| Film di protezione del disco ottico | Si3N4, SiO2+ZnS | |
| Batteria di sottili pellicole della perovskite | Strato di conduzione trasparente | ZnO: Al |
| Trattamento medico | Materiali biocompatibili | Al2O3, TiO2 |
| Rivestimento decorativo | Film colorato, film metallizzato | Al2O3, TiO2etutti i tipidifilmdelmetallo |
| rivestimento di Anti-scoloramento | Rivestimento di antiossidazione del metallo prezioso | Al2O3, TiO2 |
| Film ottici | Indice di rifrazione massimo minimo | SiO2, TiO2, tum2O5,₂diZrO, HfO2 |
| Altre applicazioni | Film a tenuta di luce | Cr, AlSi, AlTi, ecc |
| Film resistente | NiCrSi, CrSi, MoTa, ecc | |
| Film superconduttore | YbaCuO, BiSrCaCuo | |
| A strato magnetico | Fe, Co, Ni, FeMn, FeNi, ecc |
Principio di funzionamento
Farfugliare del magnetron è un genere di applicazione a spruzzo fisica (PVD). Fa il movimento degli elettroni nella spirale
percorsi vicino alla superficie dell'obiettivo dall'interazione fra i campi elettrici magnetici e, così aumentare
probabilità degli elettroni che colpiscono il gas dell'argon per generare gli ioni. Gli ioni generati poi hanno colpito la superficie dell'obiettivo
nell'ambito dell'azione del campo elettrico e farfugliare i materiali di obiettivo al film sottile del deposite sulla superficie del substrato.
Il metodo generale farfugliare può essere usato per la preparazione di vari metalli, semiconduttori, ferromagnetici
materiali come pure ossidi isolati, ceramica ed altre sostanze. L'attrezzatura usa il tocco di PLC+
sistema di controllo del pannello HMI, che può entrare i parametri dall'interfaccia trattata programmabile, con le funzioni
quale il singolo obiettivo che farfuglia, farfugliare dell'multi-obiettivo e co-farfugliare sequenziali.
Caratteristiche
| Modello | MSC700-750-700 |
| Tipo ricoprente | Vari film dielettrici come l'ossido di metallo e a film metallico ed AIN |
| Gamma di temperature ricoprente | Temperatura normale a 500℃ (personalizzabile) |
| Dimensione ricoprente della camera di vuoto | 700mm*750mm*700mm (personalizzabile) |
| Vuoto del fondo | <5>-7mbar |
| Spessore di rivestimento | ≥10nm |
| Precisione di controllo di spessore | ≤±3% |
| Dimensione ricoprente massima | ≥100mm (personalizzabile) |
| Uniformità di spessore di film | ≤±0.5% |
| Trasportatore del substrato | Con il meccanismo planetario di rotazione |
| Materiale di obiettivo | pollici 4x4 (compatibili con 4 pollici e sotto) |
| Alimentazione elettrica | Le alimentazioni elettriche quale CC, impulso, rf, SE e la polarizzazione è facoltativa |
| Gas trattato | L'AR, N2, O2 |
| Nota: Produzione su misura disponibile. | |
Campione ricoprente
Punti trattati
Il → dispone il substrato per ricoprire nella camera di vuoto;
Il → vacuumize approssimativamente;
Il → gira sulla pompa molecolare, vacuumize a massima velocità, quindi gira sulla rivoluzione e sulla rotazione;
→ che riscalda la camera di vuoto finché la temperatura non raggiunga l'obiettivo;
Il → implementa il controllo della temperatura costante;
Il → pulisce gli elementi;
Il → gira e di nuovo all'origine;
Film ricoprente del → secondo i requisiti trattati;
Il → insufficiente la temperatura e ferma l'assemblea della pompa dopo avere ricoperto;
Il → smette di lavorare quando l'operazione automatica è finita.
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